Módulo de suministro de vapor de agua DI VDM300

Modelos VDM300

El módulo de suministro de vapor (VDM) de Brooks Instrument es un módulo autónomo de alto rendimiento para el suministro altamente preciso de vapor de agua desionizado (DI) de pureza ultra alta. Cuenta con un diseño de bajo consumo que permite la generación de vapor a baja temperatura y de pureza ultra alta. Utiliza una técnica de entrega de vapor probada y la combina con control digital avanzado y funciones de diagnóstico integradas en un paquete pequeño y conveniente.

Diseñado para procesos avanzados de pasivación por ataque químico de bandas y postmetálico, el VDM ofrece una precisión mejorada, tasas de flujo más altas, un rango de control más amplio y un menor consumo de energía en comparación con los sistemas de evaporación instantánea. Basado en técnicas probadas de medición de flujo másico térmico, el VDM produce vapor en un estado de vapor no sobrecalentado, reduciendo los efectos agresivos del agua desionizada, para mejorar la confiabilidad y una operación más limpia.

El VDM ofrece funciones de diagnóstico y registro de datos fáciles de usar a través de un puerto de servicio independiente y una interfaz gráfica de usuario intuitiva.

Especificaciones

Eléctrico

RatingsCumplimiento

Tipo de producto	Módulo de suministro de vapor de agua desionizada
Diferenciador	Vapor DIW de ultra alta pureza Máxima precisión de flujo Diseño compacto Interfaz EtherCAT
Método de vaporización	Extracción de vapor
Tipo de fluido	Agua DI UHP
Rango de flujo (capacidad de escala completa)	3000 sccm
Relación de reducción	20:1
Tiempo de respuesta	<2 seg.
Precisión	±1% SP @ >10% FS ±0.2% FS @ 5 – 10% FS
Linealidad	±0,5% de FS
Repetibilidad	<±0.2% FS
Coeficiente de Temperatura de Flujo	0,05% por °C cero y span
Válvula de cierre	Válvula normalmente cerrada: <0,5% FS
Comunicación analógica	0 a 5-24 Vcc
Comunicación Digital	EtherCAT a través de conectores RJ-45 dobles Diagnóstico (RS485) a través de microUSB
Conexión eléctrica	208-230 Vca, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (calentador del tanque) ± 15 Vcc, ± 5% @ 1.2 amperios (calentador MFC y PCBA)
Luces de estado	Cero Dispositivo listo Calentamiento Fallo del dispositivo Error de ECAT Ejecución de EtherCAT EtherCAT Link Activo
Diagnóstico / Puerto de servicio	RS-485 vía microUSB
Accesorios	Vapor de salida: VCR hembra de 1/2 Entrada de agua desionizada: VCR macho de 1/4″ o compresión de tubo Drenaje de agua desionizada: Adaptador de tubo instantáneo de 1/8
Orientación de montaje	Vertical with DIW inlet fittings down
Presión Máxima	Salida de Vapor: 200 torr
Presión de suministro	DI Agua: 10 – 40 psig Purga de N2: 10 – 40 psig
Rango de temperatura ambiente	15 – 45°C
Volumen interno	0 a 95% RH, sin condensación
CEM	Compatibilidad electromagnética (EMC): Cumple con la Directiva 2004/108/CE (EN: 61326-1:2013) Directiva de Baja Tensión (LVD): Cumple con la Directiva 2006/95/CE (EN: 61010-1:2010)
Cumplimiento de la normativa medioambiental	Directiva RoHS (2011/65/EU) REACH Directiva CE 1907/2006 SEMI E54.20-1108: Estándar para la comunicación en red de sensores/actuadores para EtherCAT®.

BCN (+34) 93 864 68 43

MAD (+34) 91 371 00 42

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