Especificaciones |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | 10 slm (sólo N2 o H2) |
| Diferenciador | Modo de control: Aguas abajo o aguas arriba Pureza ultra alta Control de presión digital |
| Tipo de producto | Controlador de presión |
| Precisión | Lectura de presión: ± 1% de la lectura Control de presión: ± 0,2% de F.S. <10% F.S.; ± 1% de lectura >10% a 100% F.S. Lectura de flujo: ± 0,35% de F.S. 2-35% F.S.; ± 1% de lectura >35% F.S. |
| Repetibilidad | < ±0.2% F.S. |
| Coeficiente de Temperatura de Flujo | Cero: < 0.05% F.S./°C Span: < 0,08% de la lectura/°C |
| Presión Máxima | 1000 Torr FS |
| Rango de control de presión | > 2 to 100% |
| Tiempo de respuesta | Tiempo de respuesta |
| Rango de temperatura | 10 – 50°C |
| Integridad de las fugas | Externo: 1 x 10-10 atm scc/sec He max |
| Material del sello | Metalúrgico |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | 5 µ pulgada Ra |
| Materiales mojados | Cumple con SEMI F20 HP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acero inoxidable 316L Acero inoxidable 304 |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado |
| Cumplimiento de la normativa medioambiental | RoHS Directive (2011/65/EU) REACH Directive EC 1907/2006 |
| EMC | Directiva CE 2014/30/UE CE: EN61326-1: 2013 |
| Fuente de alimentación / Consumo | DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc |
| Conexión eléctrica | DeviceNet™ a través de conector “M12” de 5 polos |
| Comunicación Digital | DeviceNet™ |
| Comunicación analógica | — |
| Diagnostic Capability | Disponible |