Especificaciones |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico |
| Diferenciador | Alta pureza |
| Desempeño | |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | 3 sccm – 300 slm |
| Precisión | ±1% S.P. 35-100% ±0.35% F.S. < 5-35% |
| Repetibilidad | < ±0.2% S.P. |
| Linearity | ±0,5% F.S. (incluido en la precisión) |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente cerrada: <1 seg. |
| Configurabilidad Multi-Gas y Gama | MultiFlo™ Disponible |
| Insensibilidad transitoria a la presión | – |
| Rango de control | < 5% – 100% |
| Número de ubicaciones | Serie GF estándar: 11 cubos Serie GF de alto caudal: 4 cubos |
| Válvula de cierre | Serie GF estándar: < 1% F.S.
Serie GF de alto caudal: < 4% de la configuración estándar F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv. |
| Estabilidad cero | < ±0.5% F.S. por año |
| Material del sello | Metal |
| Materiales mojados | Acero inoxidable 316 Hastelloy C-22 17-7 PH 430SS KM-45 |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado Medidor (sin válvula) |
| Temperatura máxima | 50oC |
| Rango de presión diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid 861-7200 sccm = 15-45 psid 7201-50000 sccm = 25-45 psid 51-300 slm = 30-90 psid (caídas de presión típicas |
| Presión Máxima | Serie GF estándar: 10 bar (150 psig) Serie GF de alto caudal: Medidor = 5 bar (75 psig), Controlador = 10 bar (150 psig) |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacidad de diagnóstico | Disponible |
| Luces de estado | MFC Health, Estado de la red |
| Alarmas | Salida de la válvula de control, interrupción de la red |
| Diagnóstico / Puerto de servicio | RS485 a través de un conector de 2,5 mm (todos los modelos) |
| Comunicación analógica | 0-20 mA 4-20 mA 0-5 Vdc 0-10 Vdc |
| Comunicación Digital | DeviceNet™ Profibus® RS485 S-Protocol RS485 L-Protocol RS485 A-Protocol (GF081) |
| Conexión eléctrica | Profibus/Analógico mediante conector “D” de 9 polos RS485/Analógico mediante conector “D” de 9 pines, conector “D” de 15 pines DeviceNet™ a través del conector “M12” de 5 polos |
| Fuente de alimentación / Consumo | Serie GF estándar: RS485 de +12 Vcc a +24 Vcc = 7 vatios máx.
Profibus de +13,5 Vcc a +27 Vcc = 7 vatios máx. DeviceNet™ de +11 Vcc a +25 Vcc = 13,6 vatios máx. Serie GF de alto caudal: RS485 de +12 Vcc a +24 Vcc = 3,3 vatios máx. Profibus de +13,5 Vcc a +27 Vcc = 3,3 vatios máx. DeviceNet™ de +11 Vcc a +25 Vcc = 3,3 vatios máx. |
| Cumplimiento de la normativa medioambiental | Seguridad EN61010-1 RoHS |
| EMC | CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing) |