Especificaciones |
| Estabilidad cero | <±0.5% FS por año |
| Válvula de cierre | Cierra la válvula cuando el punto de ajuste cae por debajo del 1,5% del fondo de escala. |
| Número de ubicaciones | 10 Cubos |
| Rango de control | 2-100% |
| Configurabilidad Multi-Gas y Gama | MultiFlo™ Disponible |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente cerrada: 300 ms – <1 seg. |
| Linealidad | ±0.5% FS (incluido en la precisión) |
| Repetibilidad | 0.20% SP |
| Precisión | 1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | 3 sccm – 50 slpm |
| Diferenciador | Alta Precisión MultiFlo™ Capacidad Tamaño compacto Adecuado para un conjunto completo de gases |
| Coeficiente de presión | 0.03% por psi (0-50psi N2) |
| Rango de temperatura | 5-50oC (41-122oF) |
| Presión Máxima | 150 psig/10 barra |
| Rango de presión diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 15-45 psid |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Material del sello | Sello de elastómero |
| Acabado de la superficie | 32µ inch Ra |
| Materiales mojados | Acero inoxidable 316, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055 |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado Normalmente abierto Medidor (sin válvula) |
| Capacidad de diagnóstico | Disponible |
| Diagnóstico / Puerto de servicio | Disponible |
| Tamaño | Disponible |
| Cumplimiento de la normativa medioambiental | Directiva RoHS (2011/65/EU) REACH Directiva CE 1907/2006 |
| Certificaciones/Aprobaciones | CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing) Seguridad EN61010-1 |
| Fuente de alimentación / Consumo | Analógico / RS-485 De +12 Vcc a +24 Vcc: 7 Watt/8 WattDeviceNet™ De +11 Vcc a +25 Vcc: 7 Watt/8 WattEtherCAT® / Profibus De +13,5 Vcc a +27 Vcc: 7 vatios/8 vatios |
| Conexión eléctrica | DeviceNet™: 1 x M12 con tuerca roscada (B) EtherCAT®: M8 de 5 polos con tuerca roscada/2 x RJ45 Profibus®: 1 x 15 contactos Macho Sub-D/1 x 9 contactos hembra Sub-D RS485: 1 x 15 contactos Sub-D macho, (A) |
| Comunicación Digital | DeviceNetTM EtherCAT Profibus®. RS485 |
| Comunicación analógica | 0-5 V, 0-10 V 0-20 mA, 4-20 mA |