Rendimiento perfeccionado para procesos de semiconductores
- Los diagnósticos integrados aprovechan las capacidades de adquisición de datos en tiempo real de EtherCAT
- Sensor de flujo ultraestable (≤ 0.15% de deriva de P.S.P. por año) permite una precisión de punto de ajuste más ajustada y baja y reduce los requisitos de mantenimiento.
- El cierre mejorado de la válvula (≤ 0.15% del rango del silo) reduce las fugas de la válvula para reducir los primeros efectos de la oblea.
- La insensibilidad transitoria a la presión recientemente mejorada reduce la sensibilidad a la diafonía para una entrega de flujo másico consistente.
Especificaciones |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico |
| Diferenciador | Comunicación EtherCAT Alta pureza/Ultra-Alta pureza Diagnóstico integrado Sensor de flujo ultraestable Apagado mejorado de la válvula |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | 5 – 10µ pulgadas Ra |
| Material del sello | metalúrgico |
| Coeficiente de Temperatura de Flujo | Span: 0,05% P.S. por °C Cero: 0.005% F.S. por °C |
| Estabilidad cero | < 0.15% F.S. por año |
| Válvula de cierre | Serie GF estándar: < 0.15% F.S. Serie GF de alto caudal: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out |
| Número de ubicaciones | Serie GF estándar: 11 cubos Serie GF de alto caudal: 4 cubos |
| Rango de control | Serie GF estándar: 2-100%. Serie GF de alto caudal: 5-100% |
| Configurabilidad Multi-Gas y Gama | MultiFlo™ Estándar (la mayoría de los modelos) |
| Insensibilidad transitoria a la presióna | Modelos específicos |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente abierta: <1,5 segundos (modelos específicos) |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente cerrada: 300 ms – < 1 seg. Entrega de gas SDS: 3 seg. < 3 seg. |
| Repetibilidad | ±0.15% S.P. |
| Precisión | Serie GF estándar: ±1% P.S. > 20-100%; ±0,2% P.S. 2-20%. Serie GF de alto caudal: ±1% P.S. > 35-100%; ±0,35% P.S. 2-35%. |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | Serie GF estándar: 3 sccm – 55 slm Serie GF de alto caudal: 55 slm – 300 slm |
| Materiales mojados | Cumple con SEMI F20 HP/UHP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acero inoxidable 316L Acero inoxidable 304 KM-45 |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado Normalmente abierto (sólo en determinados modelos) Medidor (sin válvula) |
| Temperatura máxima | 50oC |
| Rango de presión diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid 861-7200 sccm = 10-45 psid 7201-55000 sccm = 15-45 psid 51 slm-300 slm = 30-90 psid Modelos SDS 10 Torr- 30 psid típico *Pérdidas de carga típicas. Póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks para obtener más información. |
| Presión Máxima | Serie GF estándar: hasta 500 psia máx. Serie GF de alto caudal: 75 psig (controlador), 150 psig (medidor) |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacidad de diagnóstico | Disponible |
| Luces de estado | Corre Error Potencia Estado de la red |
| Alarmas | Salida de la válvula de control Interrupción de la red Temperatura Alta/Baja Presión Alta/Baja Sobretensión/Caída de tensión |
| Fuente de alimentación / Consumo | 24 Vdc, 7 Watts (Under typical operating conditions) |
| Electrical Connection | Alimentación a través del conector M8 de 5 polos, EtherCAT a través de un doble RJ45 |
| Comunicación Digital | EtherCAT |
| Comunicación analógica | — |
| Pantalla | LCD integrado de montaje superior Ángulo de visión: Fijo Distancia de visión: 10 pies Unidades mostradas: Caudal (%), Temperatura (°C), Presión (psia, kPa) Resolución: 0,1 (unidad) |
| Diagnóstico / Puerto de servicio | Micro USB |