Especificaciones |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico |
| Diferenciador | Alta pureza/Ultra-Alta pureza Serie GF estándar Serie GF de alto caudal |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | Serie GF estándar: 3 sccm – 55 slm Serie GF de alto caudal: 55 slm – 300 slm |
| Precisión | ±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
| Repetibilidad | < ±0.15% S.P. |
| Linealidad | ±0.5% F.S. (incluido en la precisión) |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente cerrada: 700 ms – < 1 seg. Entrega de gas SDS: 3 seg. < 3 seg. |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente abierta: <1,5 segundos (modelos específicos) |
| Configurabilidad Multi-Gas y Gama | MultiFlo™ Estándar (la mayoría de los modelos) |
| Insensibilidad transitoria a la presión | — |
| Rango de control | Serie GF estándar: < 3-100% Serie GF de alto caudal: 5-100% |
| Número de ubicaciones | Serie GF estándar: 11 cubos Serie GF de alto caudal: 4 cubos |
| Válvula de cierre | Serie GF estándar: < 1% F.S. Serie GF de alto caudal: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out |
| Estabilidad cero | < ±0.5% F.S. al año |
| Coeficiente de Temperatura de Flujo | Span: 0.05% S.P. per °C Zero: 0.005% F.S. per °C |
| Material del sello | Metal |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | 4 – 10µ inch Ra |
| Materiales mojados | Cumple con SEMI F20 HP/UHP 316L VIM/VAR Hastelloy C-22 Acero inoxidable 316L Acero inoxidable 304 KM-45 |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado Normalmente abierto (sólo en determinados modelos) Medidor (sin válvula) |
| Temperatura máxima | 50oC |
| Rango de presión diferencial | 3-860 sccm = 7-45 psid 861-7200 sccm = 10-45 psid 7201-55000 sccm = 15-45 psid 51 slm-300 slm = 30-90 psid *Caídas de presión típicas. Póngase en contacto con el servicio de asistencia técnica de Brooks para obtener más información. |
| Presión Máxima | Serie GF estándar: 500 psia máx. Serie GF de alto caudal: 75 psig (controlador), 150 psig (medidor) |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacidad de diagnóstico | Disponible |
| Luces de estado | MFC Salud Estado de la red |
| Alarmas | Salida de la válvula de control Interrupción de la red |
| Diagnóstico / Puerto de servicio | RS-485 via 2.5mm jack (all models) |
| Pantalla | LCD integrado de montaje superior Ángulo de visión: Fijo Distancia de visión: 10 pies Unidades mostradas: Caudal (%), Temperatura (°C), Presión (psia, kPa) Resolución: 0,1 (unidad) |
| Comunicación analógica | 0-5 Vdc |
| Comunicación Digital | DeviceNet™ Protocolo L RS485 |
| Conexión eléctrica | Analógico/RS485 a través de conector “D” de 9 clavijas DeviceNet™ a través del conector “M12” de 5 polos Varios adaptadores de cable disponibles. Consulte la hoja de datos del producto para obtener más información. |
| Power Supply / Consumption | Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%) DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc (Under typical operating conditions) |
| Cumplimiento | |
| EMC | Directiva 2004/108/CE de la CE CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 y Canada IC-subset of CE testing) |
| Cumplimiento de la normativa medioambiental | Directiva RoHS (2011/65/EU) REACH Directiva CE 1907/2006 |