Especificaciones |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico |
| Diferenciador | Gran base instalada con un rendimiento probado a largo plazo |
| Rango de flujo (capacidad de escala completa) | .06 sccm – 30,000 sccm |
| Precisión | 1% F.S. incl. linealidad 1,5% F.S. incl. linealidad >20 slpm |
| Repetibilidad | 0,2% de la tasa |
| Linealidad | ±0,5% F.S. (incluido en la precisión) |
| Tiempo de respuesta | Válvula normalmente cerrada: <3 seg. Opcional: 600 mseg. |
| Configurabilidad Multi-Gas y Gama | – |
| Insensibilidad transitoria a la presión | – |
| Rango de control | 2-3% – 100% |
| Número de ubicaciones | N/A |
| Válvula de cierre | N/A |
| Estabilidad cero | < 0.5% F.S. por año |
| mecánico | |
| Material del sello | metalúrgico |
| Nivel de pureza / Acabado de la superficie | 316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel |
| Materiales mojados | Asiento de la válvula: 316L, fluoroelastómeros Viton®, Buna-N, Kalrez® o Teflon®. |
| Opciones de válvulas | Normalmente cerrado, normalmente abierto Medidor (sin válvula) |
| Temperatura máxima | 65oC |
| Rango de presión diferencial | 5 – 50 psi (dependiendo del gas y del rango) |
| Presión Máxima | 1500 psi |
| Integridad de las fugas | 1×10-10 atm cc/sec He |
| Capacidad de diagnóstico | – |
| Luces de estado | MFC Health, Estado de la red |
| Alarmas | Salida de la válvula de control, interrupción de la red |
| Diagnóstico / Puerto de servicio | N/A |
| Eléctrico | |
| Comunicación analógica | 4-20 mA 0-5 Vcc |
| Comunicación Digital | – |
| Conexión eléctrica | Conector D de 15 clavijas (DA-15P) |
| Fuente de alimentación / Consumo | Válvula normalmente cerrada: 3,25 vatios Válvula normalmente abierta: 10,5 vatios |
| Cumplimiento | |
| Cumplimiento de la normativa medioambiental | N/A |
| EMC | (89/336/CEE) por 61326 |